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          等離子體表面處理發生器

          文章出處:等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間:2022-09-19
          等離子體的產生依賴于等離子體電源的高壓激勵,同時也離不開等離子體發生器載體。在不同的等離子體表面處理應用中,為了滿足形態各異的被處理材料,等離子體發生器的結構也各有不同;發生器結構的差異也影響著等離子體氣體放電。根據氣體放電類型的不同,工業應用中常見的等離子體表面處理發生器有:電暈發生器、介質阻擋發生器、射流發生器和滑動弧發生器,下面分析其各自特點。

          (1)電暈發生器
          電暈(Corona)發生器的典型結構為針-板結構與針-環結構。根據尖端放電原理,在針電極上產生電暈放電等離子體,對材料表面進行處理。通常板或環結構由電機帶動其運動,將待處理材料不斷向前傳遞,電暈發生器十分適合大面積材料的表面處理,如聚合物薄膜、軟包裝、片/板材、織物等。如圖1-2所示,使用電暈發生器對鋁膜進行處理。
          圖 1 -2 電暈放電發生器
          圖 1 -2 電暈放電發生器
          (2)介質阻擋等離子發生器
          介質阻擋(DielectricBarrierDischarge,DBD)發生器,其發生器電極之間存在絕緣介質阻擋,在外加電場的作用下電極與絕緣介質間將產生等離子體。DBD發生器的常見結構為板-板電極,但是,由于這種發生器在結構上十分緊湊,放電間距過小,產生的等離子體處理距離較短,限制了被處理材料的厚度。
          工業中常用金屬棒電極與筒狀絕緣介質結構的DBD發生器,利用氣源將等離子體吹出發生器,如圖1-3所示。
          圖 1 -3 DBD 寬幅發生器
          圖 1 -3 DBD 寬幅發生器
          (3)射流等離子體發生器
          射流(PlasmaJet)等離子體發生器通常為棒-筒結構,在外加電場的作用下,裸露棒電極與筒電極之間產生的等離子體,被工作氣體吹出發生器外,形成等離子體射流,處理材料表面。
          射流發生器應用于手機玻璃貼合、紙板印刷、汽車橡膠密封、有機硅材料處理等行業,如圖1-4所示。
          射流等離子發生器
          圖1-4 射流等離子發生器
          (4)滑動弧等離子發生器
          滑動?。℅lidingarc)等離子發生器,由兩塊金屬電極連接于交流高壓兩端,中間通入工作氣體,在電場的作用下等離子體被擊穿,出現電弧狀等離子體,在氣壓的作用下電弧向前滑動最后耗散,形成滑動弧,如圖1-5所示。
          滑動弧等離子發生器
          圖1-5 滑動弧等離子發生器
          用于材料表面處理中的等離子體屬于低溫等離子體,其中充斥著大量的高活性基團,包括電子、離子、自由原子、激發態離子與自由基等,具有較高的能量,可以與材料表面發生微小的物理與化學變化,達到表面處理的目的;并且其溫度接近室溫,適合處理對溫度敏感的材料,如薄膜與人體組織等;此外,低溫等離子體制備較為容易,目前應用中廣泛使用外加電場的方式激發低溫等離子體。
           

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