專業維修真空泵，提供愛德華,萊寶,愛發科,干泵,油泵,螺桿泵,羅茲泵維修服務
文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-10-06
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隨著經濟快速增長，半導體工業也隨之不斷發展，真空設備在半導體行業中的應用也更加廣泛，如干法類設備、真空鍍膜類設備、材料生長類設備和摻雜類設備，等等。這些真空設備中用來獲取真空的泵組，也成為影響設備性能的核心組件之一。為保障設備正常運行，對真空泵組的常見故障進行分析和處理也變得越加重要。
常見真空泵的分類和性能指標
真空泵是用以產生、改善和維持真空的裝置。按其工作原理，基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵。區別是對氣體的處理方式不同，氣體傳輸泵是以不停吸入和排出氣體來達到抽氣目的的真空泵，而氣體捕集泵則是將被抽氣體吸附或凝結在泵內表面上來獲取真空。氣體傳輸泵又分為容積泵和動量傳輸泵，氣體捕集泵分為吸附泵和低溫泵。
半導體設備中常見的真空泵為油封式機械泵，干式真空泵，羅茨真空泵，分子真空泵，擴散泵和冷凝泵等。
常見真空泵故障分析及維修辦法
旋片式油封式機械泵
對于中小型真空設備，旋片式油封式機械泵是最基本的真空獲取設備之一，屬于低真空泵，工作壓力范圍為101325～1×10-2Pa。它可單獨使用，也可以作為其他高真空泵的前級泵使用。旋片式油封式機械泵可用于抽取干燥氣體和一定量的可凝氣體。
旋片式油封式機械泵的常見故障現象分類
真空性能較差
（1）泵體內油有問題，機械泵性能表現和油的質量及純度有著非常密切的關系。泵在使用過程中，所抽設備里的雜質和水容易通過抽氣進入真空泵油中，這種情況會嚴重影響機械泵的性能。因此，需要經常對真空泵油進行取樣觀察。如泵油有顆粒沉淀物、有水沉積、色彩較暗，則需要更換泵油并檢查進氣口過濾器濾芯是否有損壞。注意不同種類或牌號的真空泵油不可混合使用。
（2）真空系統泄漏，檢查設備真空系統并檢漏。
（3）泵內部元件損壞，拆開機械泵，檢查泵體旋片磨損情況，觀察泵體表面是否有劃痕，如泵體內較臟或有粘糊狀物質，則需清洗泵體和旋片后重新安裝。根據經驗，如泵體和旋片磨損較輕微，清洗后泵的真空度會有所下降，需測試是否可滿足設備真空性能需求。如磨損嚴重，則需更換旋片或泵體，由于機械泵旋片和泵體之間間隙直接影響機械泵抽氣性能，一般需配合加工。如只更換其中之一，往往難以修復，需配合研磨。
機械泵無法正常旋轉
檢查機械泵的電氣連接，如是三相機械泵則確定其是否缺相，單相機械泵則檢查其電容。如機械泵供電正常，則需從聯軸器處將機械泵拆分為電機和泵體兩個部分，斷電后分別手試旋轉電機軸和泵體聯軸器，看是否有較大阻力，如電機無法旋轉則需拆開檢查其內部轉子和軸承是否損壞；如泵體部分卡死則需拆下泵體內旋片部分進行檢查，如有必要，可清洗泵體內部。
機械泵聲音異常
（1）輸入電壓問題。檢查輸入電壓是否異常，檢查電源，開關，線路連接情況。
（2）泵內油位太低，檢查油窗，補充真空泵油。
（3）彈性聯軸器損壞。檢查聯軸器是否損壞，更換元件。
渦輪分子泵
在半導體真空設備中，渦輪分子泵同樣也應用十分廣泛。其是利用分子牽引（高速剛體表面攜帶氣體分子按一定方向運動的現象）以高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合實現抽氣。渦輪分子泵為高真空泵，需配合前級泵使用，將其泵出口的氣體抽走，其使用真空范圍為1×10-1～＜1×10-5Pa。渦輪分子泵內部結構比較復雜，主要故障有葉片或泵體損壞，異常振動和噪聲，真空度問題，泵過熱，分子泵轉速波動超標或停機等。其中葉片或泵體損壞一般較為嚴重，需返廠維修。
低溫泵
低溫泵是利用低溫（低于100K即-173.15℃）表面冷凝和吸附氣體的物理過程來獲得和保持真空的裝置。其抽速大（理論比抽速可達11.6L/（S×cm2），極限真空度高（1×10-13Pa），清潔無油且可以長期有效運行，在半導體真空設備中應用廣泛。
低溫泵運行過程中出現異常摩擦聲
故障原因分析：驅動單元故障，氦氣不純導致推移活塞處凝結固態異物
低溫泵溫度異常，推移活塞有污染
故障原因分析：壓縮機內油泄漏、充氣時使用了被污染氦氣、密封環磨損導致的粉塵污染
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