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三

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等離子清洗儀

小型等離子清洗儀

產品型號：小型等離子清洗機系列
性能特點：石英玻璃腔體，PLC+觸摸屏控制
產品用途：金屬油污去除、半導體、塑料高分子等材料清洗，活化，蝕刻和改性

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小型等離子清洗儀

小型等離子清洗機

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小型等離子清洗機

等離子發生器	功率	0-300W
	頻率	13.56MHz/40KHz
	特性阻抗	自動匹配
真空反應腔室	腔體材質	石英玻璃/不銹鋼
	腔體容積	2L/5L/10L
	真空度	1-30Pa
氣路控制	氣體通道	兩路
氣路控制	氣體流量控制器	浮子針閥流量控制器
整機參數	重量	65KG
整機參數	外形尺寸	650mmx550x600mm

納恩科技小型等離子清洗儀系列，等離子激發頻率13.56MHz和40KHz可選，石英玻璃腔體，不銹鋼腔體可選，PLC+觸摸屏控制。小型等離子清洗儀適用于各種基材類型對金屬、半導體、氧化物、有機物和大多數高分子材料也能進行很好的處理并可實現復雜結構的清洗。

小型等離子清洗儀工作原理：

小型等離子清洗儀主要的組成部分就是腔體，真空泵和制造等離子的低頻電源.其主要工作步驟如下1.腔體抽真空；2.通入處理氣體并開啟等離子；3.通風和取出處理物品。一開始，真空泵使腔體中產生低壓。大概在壓力為0.1毫巴時，往腔體中通入處理氣體（例如氧氣）。等離子工作壓力介于0.1至1.0毫巴之間。一旦達到工作壓力，開啟電源后，腔體中的處理氣體將會離子化。處理物體處于等離子中。等離子清洗儀不斷接收新鮮的氣體而排出被污染的氣體。

等離子能以兩種形式起作用

移除有機層：
1. 有機層會與氧氣或空氣產生化學反應
2. 通過低壓和對表面加熱而使污染物蒸發
還原氧化物：
1.金屬氧化物與處理氣體產生化學反應。純氫氣或者氬氣和氮氣的混合都可以用作處理氣體。2.進行表面的活化。

小型等離子清洗儀常見應用：

PDMS表面進行親水化處理，經過等離子清洗儀處理后鍵合，形成微流控芯片；
應用等離子清洗機處理木塑基材提高表面活性水披覆轉印后從而提高產品表面的附著力;
利用光固化和微負型技術制備硅橡膠模具在硅橡膠模具使用前進行等離子清洗可以改善其親水性；
塑料封裝，鍵合前后增加等離子清洗工序，可以提高鍵合強度和模塑料與框架/基板界面結合強度；
對ITO表面進行等離子體清洗可以降低成核勢壘并激活ITO表面上的懸空鍵；
等離子清洗儀可以有效清除鍵合區的污染物提高鍵合區表面化學能及浸潤性因此在引線鍵合前進行等離子清洗可以大大降低鍵合的失效率提高產品的可靠性。

小型等離子清洗儀被廣泛應用于電子、生物醫藥、珠寶制作、紡織等眾多行業由于各個行業的特殊性需要針對行業需要采用不同的設備及工藝。

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