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三

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真空等離子清洗機

30L真空等離子清洗機NE-PE30

產品型號：30L真空等離子清洗機
性能特點：NE-PE30
產品用途：材料表面清潔、刻蝕、活化、改性

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產品介紹
產品參數

本系統使用傳統的電容耦合式等離子清洗機結構，即內平行極板。系統由三大部分組成包括真空系統、放電系統和控制系統。其中放電系統由放電腔體、平行極板、工件支座和電源及匹配網絡組成，真空系統由真空泵、充氣系統、密封件、閥門、壓強感應器組成，真空泵抽取真空并維持反應室內氣壓平衡，壓強感應器測量反應時的壓強。反應腔體要求反應室真空密封同時具備輻射防護。充氣系統由氣管、流量計和閥門組成，目的是定量向反應室充入反應氣體。電源使用的是固態射頻電源，具有高可靠性和穩定性、高效的功率輸出、體積小、重量輕、完善的保護功能可實現過溫、反射功率保護?？刂葡到y可實現電源輸出功率、放電時間、氣路開關的控制。
等離子清洗機應用

等離子清洗機應用

真空等離子清洗機產品特點：

高可靠性和穩定性、高效的功率輸出、緊湊的結構設計、體積小、重量輕、完善的保護功能等特點。
前設開門，后方開排氣孔、電源線孔，側面開進氣孔，以便于形成動態循環、均勻進氣提高清洗的效果。
兩路獨立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體。耐腐蝕性能好、耐熱性強、低溫情況下的強度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。

真空等離子清洗機清洗原理：

在清洗過程中通過射頻電源電離真空腔內氣體產生等離子體，等離子體具有高能量可以通過物理作用轟擊材料表面使材料表面的污染物從金材料表面脫落，其次電離某種氣體可以產生對應的活性粒子，活性粒子會與表面的有機物或者氧化物等發生化學反應進而生成易于揮發的物質可以被真空泵排出反應腔體達到清洗物體表面的效果。

等離子清洗的過程不使用化學試劑，不會造成二次污染;真空等離子清洗機可重復性強，所需設備和運行成本比較低，而且操作靈活簡單，可以實現對金屬表面的整體或某些局部及復雜結構的清洗，有些經過等離子體清洗后的表面性能還可以得到改善，等離子清洗機在微電子工業、半導體業等高科技領域的應用將會越來越廣泛。

項目	型號規格	參數
等離子體發生器	功率	0-500W可調
	頻率	40KHz/13.56MHz
	抗輻射干擾高頻匹配器	自動抗阻匹配，遠程通信控制
真空反應腔室	腔體內部尺寸	300350300（寬高深）
	腔體容積	30L
	材質	不銹鋼/鋁合金
	電極層數	3層
	工作托盤	標配一套，材質可選（鋁絲，鋼絲網）
	電極板分布方式	平板電極，可靈活抽取
控制系統	系統控制	PLC
控制系統	觸摸屏	七寸觸摸屏
氣體系統	氣體通道	標配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮氣等）
氣體系統	氣體流量控制	MFC氣體質量流量計
外觀參數	外形尺寸	6001500600（寬高深）

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