等離子鞘層-深圳納恩科技有限公司

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等離子鞘層

等離子鞘層是等離子體的重要特征，表征了等離子的電位分布和靜電場效應。以電容耦合式等離子為例，帶電粒子（電子、離子）在電場作用下向基板運動，由于電子質量輕、移動速度快，一部分電子到達基板后，與正離子結合成氣體分子，剩下的部分在基板附近形成了負電荷區，負電荷區吸引正離子，排斥電子，當正離子和電子移動的速度相同后，在基板附近就形成了一定區域的負電位，稱之為“等離子鞘層”。