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DBD(介質阻擋放電)
DBD介質阻擋放電分為體介質阻擋放電 (volume DBD , VDBD) 和表面介質阻擋放電 (surface DBD , SDBD) 。 VDBD 就是通常所說的同軸介質阻擋放電和平行板介質阻擋放電,其主要特點是依靠絕緣介質在放電空間形成反向電場對外部電場進行抵消,限制放電電流,防止電弧或火花放電的發生。目前,在研究應用中使用較多的主要是平行板型電極結構,兩個平板電極平行排列,電極之間相隔一段間隙,為了防止電極之間出現電弧,在電極上覆蓋合適的電介質如陶瓷、玻璃等,在兩個平板電極之間施加較高的交流電壓,電極之間的氣體會被擊穿,產生放電現象。其常用結構為三種,如圖1.1所示。圖1.1(a)采用一塊絕緣介質,并將其覆蓋在其中一個電極表面。圖1.1(b)將絕緣介質放置在平行電極之間,形成兩個被隔離的放電氣隙,調節絕緣介質位置可以改變放電氣隙的大小,使兩個氣隙產生不同濃度的
等離子體
。圖1.1(c)采用兩塊絕緣介質并將其分別覆蓋在上下電極表面,兩絕緣介質之間為放電氣隙。DBD可以產生大量的等離子體,同時獲得許多化學活性物質,在材料表面改性處理、薄膜材料制備、污水處理等工業應用中具有廣泛應用。
介質阻擋放電的電極結構圖
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