等離子清洗機清洗效果不好，可以嘗試從這幾個方面找原因
文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-04-14
影響等離子清洗效果的因素有很多，其中最主要的是電源功率頻率、工作壓強、工作氣體種類以及清洗的時間。一般來說，等離子清洗機生產出來，可以調節的工藝參數只有這幾個，如果等離子清洗效果不好可以從這幾個方面找找原因，下面是關于這些工藝參數的一些說明，有助于更好的理解這些參數與等離子清洗效果的關系。
工作氣體：工藝氣體的選擇決定等離子清洗機制(物理、化學或物理/化學)。其中反應性氣體以氫氣和氧氣等為主。氫氣放電會產生氫離子，利用氫離子的還原反應，可以與基片表面的氧化污染物發生氧化還原反應生成氣態的水分子；同樣利用氧氣放電產生的氧離子的氧化反應，可以與基片表面的有機污染物發生氧化還原反應生成氣態水分子和二氧化碳。另一類是非反應性氣體，主要包括氦氣、氬氣和氮氣等稀有氣體，利用稀有氣體可以定向的提升金屬某一方面的物理性質，例如氮氣可以提離材料的硬度和耐磨性。利用氬氣或氦氣可以增大等離子體的密度提高清洗的效率，同時因為是稀有氣體可以防止清洗之后的氣體再次被氧化，其主要是利用氬氣和氦氣相對穩定的性質，同時其放電氣壓比較低，更容易形成等離子體而轟擊金屬表面使污染物脫落被真空泵排出；如果在氬氣和氦氣等離子體中摻入適量的氧氣和氫氣等，反應性氣體分子可以與高能亞穩態原子碰撞發生電荷的轉換和再結合，降低了電離和活化氧和氫的電壓和能量，從而產生更多的活性粒子，但摻入氫氣時要注意控制氫氣質量比以防止爆炸。
功率:增加等離子體功率是通過增加等離子內的離子密度和離子能量來增加清潔速度和清潔強度?？墒?如果增加功率太多,可能對基板有害,并且對結果也是無效。
時間:一般來說要在最短的工藝時間達到最佳清洗效果,是工藝時間與功率、壓力和氣體類型平衡。功率的設置主要要與處理時間相平衡,增加功率可以降低處理時間,然而,會使倉體內溫度升高。對于許多處理工藝來說,較高的溫度相當于催化劑,并且會導致不均勻或刻蝕過度。所以要想優化處理工藝,綜合考慮這兩個參數是必須的。
等離子清洗的效果會隨著功率的增大而變好;工作壓強的選擇要根據清洗的基片進行合理選用，當以物理作用為主時應減小壓力以增大離子能量，當以化學作用為主時要增大一些壓力，保證反應氣體濃度，清洗時間也要保證清洗效果的同時減小能耗。
等離子清洗時間、電源功率和氣體流量。合理地改變并組合這3個工藝參數可以獲得良好的清洗效果,但盲目地改變和組合會造成時間、工作量和實驗經費的浪費。如果這三個工藝參數都調整了還是無法獲得更好的清洗效果，可以考慮更換等離子清洗機的工作頻率，從射頻，中頻，微波這三種頻率中挑選一種更合適的。其他的如果你購買的是大氣常壓等離子清洗機發現清洗效果不好，可以嘗試使用真空等離子清洗機來進行實驗。
廣東省深圳市光明區華明城高新產業園A棟5樓 
張經理 17304403275