真空等離子清洗機（設備）的維護保養
文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-04-18
在等離子清洗機在使用中，會遇到清洗達不到要求、設備本身故障率異常等問題。如何保證等離子清洗機在生產中能夠達到工藝要求，同時保證設備的正常穩定運行，等離子清洗設備的維護保養至關重要。
在實際生產中，我們發現等離子清洗機一些重要的部件會隨著使用時間的推移產生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題，會是引起等離子清洗設備達不到清洗效果的原因，例如反應腔、電極、托盤架、氣體的壓力等。以下介紹了幾個關鍵部位保養前后的效果以及如何進行保養。
等離子清洗機的維護保養
在保養和維修的過程中，一方面，要做好日常檢查，考慮到等離子清洗機靠電力掣動，因此，必須加強對電氣安全性的檢查，重點查看線路是否存在破損和老化的情況。檢查電箱內繼電器在閉合或斷開時是否有打火花。
另一方面等離子清洗機在運行的過程中部分構件受各種因素影響，在開展預防性基本規程時，首先，相關操作人員要做好設備的清潔管理工作。
等離子反應腔體清潔
等離子清洗時產生的污物大部分都接近電子級別，會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托盤架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴重。
對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭
電極與托盤架的保養翻新
托板架和電極長時間使用后會附著氧化層，同時采用等離子體處理烴基材料時，一段時間后在托板架、電極，上會積累一層薄的烴基殘留物，這些殘留物和氧化層是無法用酒精擦拭掉的。應依據附著物的量對電極、托板架進行翻新維護能保證清洗的穩定。
清洗材料要求：氫氧化鈉、硫酸、城市用水和蒸餾水。注意：不要使用手磨機、砂紙或磨蝕性噴砂處理等機械方法清潔；氫氧化鈉溶液會與鋁發生劇烈的化學反應，應小心謹慎以確保僅在所需的時間內清除沉積物；反應中會生成具有潛在爆炸性的氫氣，因此工作區域應保持良好的通風。
電極的清潔翻新步驟
（1）切斷電源并取下接地電極。（留意每個電極的初始位置，使它們在被清潔后能夠安裝在原來相同的位置上）；
（2）在室溫下將拆下的電極沉浸在10%的氫氧化鈉溶液內。在沉浸時每2min檢查電極一次，直到徹底除去殘留物。實際清潔時間取決于積累在每個電極上的殘留物數量。
（3）用城市用水徹底沖洗電極3分鐘。
（4）將電極浸在硫酸和水（按重量為5%）的溶液中一分鐘（不能干燥）后，立即進入下一步操作（這一步主要去除氧化層，干燥以后氧化層會再次附著，難以沖洗）。
（5）用蒸餾水沖洗電極兩次，每次3min。
（6）使電極徹底干燥。
（7）將電極安裝在與原先的位置，如必要，更換絕緣體。
配件和軟管檢查
檢查配件是否松動，檢查軟管是否磨損或破裂。
真空泵油過濾器
檢查機油濾清器，如果臟了或被油堵塞，請更換。
真空檢查
檢查腔室壓力并記錄值，如果壓力比前一天變化超過5%，調查泄漏。
氣壓檢查
檢查反應氣體的氣壓，在0.1~0.2MBa之間。
檢查壓縮空氣的氣壓，在0.5~0.8MBa之間。
射頻等離子發生器
定期檢查設備背面是否有灰塵或腐蝕，吸出任何灰塵、污垢、污染物。如果發現腐蝕，清潔該區域并檢查是否有泄漏。
如果不對等離子清洗機的日常維護工作予以重視，對可能出現故障的部位予以維護，就會導致設備的故障發生概率增加，設備壽命縮短。因此，為了保障等離子清洗機始終處于最佳的狀態下，發揮出最大的清洗功效，使用單位需要對等離子清洗機進行定期、不定期的檢修，對重要設備結構進行定期維護，降低構件的日常損耗，及時更新損耗配件，確保破損構建不會損壞其他零部件，降低故障發生的風險，保障施工項目能夠順利進行。另一方面，還要加強度日常養護維修工作的記錄檔案管理。通過更精細的建檔工作，保證相關技術操作人員能夠及時調取設備相關信息，確保日常預防性養護和維修工作的時效性，保證常規運行的可靠性、精確性和穩定性，延長等離子清洗機的使用壽命。
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