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三

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小型等離子清洗機

5L小型真空等離子清洗機

產品型號：NE-PE05
性能特點：體積小巧操作簡單
產品用途：科研實驗，材料表面活化改性

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產品介紹
產品參數

小型等離子清洗機可應用于多種材料，包括金屬、陶瓷、復合材料、塑料、聚合物和生物材料表面處理。包括材料表面清潔、表面活化、表面能改變、用于粘合和粘附的表面制備、表面化學改性，以及通過活化對聚合物和生物材料進行表面處理、接枝和表面涂層。

小型等離子清洗機原理：

小型等離子清洗機的清洗原理是在真空狀態下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用射頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的離子,然后與有機污染物及微顆粒污染物反應或碰撞形成揮發性物質,然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去,從而達到表面清潔活化的目的。

小型等離子清洗機產品特點：

　●產品體積小，精度高，實用，操作簡單，容易維護。
　●寬泛的參數調節范圍，可以使用多種工藝氣體，實現最大范圍的參數選擇。
　●采用優化的集成PLC工藝控制系統，特別適合研發和小批量生產領域的需求。
　●內置兩路氣路，氣體流量可調，無需再搭配氣體混合儀
　●專利軟件、操作簡易，智能化設計，避免誤操作
　●采用數字顯示壓力，實時觀察腔體壓力變化情況
　●中英文操作系統，觸摸屏控制，人機界面友好電流、電壓實時監測，確保儀器穩定安全運行
　●清洗時長可在觸摸屏設置，等離子處理時間精確到秒（s）
　●清洗功率0-100%無極可調
　●316不銹鋼腔體，低溫，不損傷樣品，腔體內溫度小于60°

小型等離子清洗機產品應用：

　●引線鍵合和封裝前的集成電路芯片清洗。
　●用于去除碳氫化合物污染物的 TEM 和 SEM 樣品清洗。
　●等離子處理親水或疏水表面潤濕性。
　●表面處理以提高環氧樹脂/膠水的粘合強度。
　●用于光學、激光和通信的玻璃和光纖頭清潔。
　●提高 MEMS 微流體器件的潤濕性。
　●圖案化后的光刻膠灰化和除渣。

序號	項目	型號規格	參數
1	等離子發生器	功率	0-300W可調
		抗輻射干擾高頻匹配器	自動阻抗匹配，遠程通信控制
		頻率	40KHz/13.56MHz
2	真空反應腔室	腔體材質	進口 316 不銹鋼，軍工級密封
		腔體容積	5L
		電極數量	1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼托盤
		腔體直徑（圓形）	150（W）×280（D）mm
		有效處理范圍	130（W）*245(D)mm
		絕緣陶瓷	進口高頻陶瓷
3	氣路控制	氣體流量控制器	浮子針閥流量控制器， 0-500ML
3	氣路控制	氣路數量	2 路氣體通道，支持氧氣氬氣等
4	整機參數	整機功率	1000W
4	整機參數	外形尺寸	長寬高： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H)

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