小型真空等離子清洗機具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤，進行煤和有機物的灰化，激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團，獲得表面親水性，提高鍵合強度和可印刷性，促進醫療器械生物相容性。
●小型等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●直觀的觸摸屏用戶界面，可儲存多條用戶程序，全自動運行
●8K 鏡面不銹鋼腔體，卓越密封性
●可支持 13.56 MHz 射頻發生器，自動阻抗匹配調諧
●支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●由于功耗低且無需特殊處理氣體，該裝置是提高表面潤濕性和附著力的非常經濟高效的解決方案。
●高分子材料表面改性粘合性、親水性能提高。
●晶圓光刻膠灰化、剝離和除渣。硅晶片的有機污染物去除
●用于 PDMS 鍵合、載玻片、芯片實驗室和其他微流體應用的等離子處理
●材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
●材料表面有機污染物去除。
●清潔TEM和SEM樣品，去除烴污染
●增強環氧樹脂/膠水粘合強度
●用于清潔光學、激光、通訊用玻璃和光纖頭
●改善MEMS微流體器件的潤濕性
●隱形眼鏡、醫用植入物等類型醫療器械的表面處理和激活
| 序號 | 項目 | 型號規格 | 參數 |
| 1 | 等離子發生器 | 功率 | 0-300W可調 |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動阻抗匹配，遠程通信控制 | ||
| 頻率 | 40KHz/13.56MHz | ||
| 2 | 真空反應腔室 | 腔體材質 | 進口 316 不銹鋼，軍工級密封 |
| 腔體容積 | 2L | ||
| 電極數量 |
1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼
托盤
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| 腔體直徑（圓形） | 100（W）×270（D）mm | ||
| 有效處理范圍 | 80（W）*235(D)mm | ||
| 絕緣陶瓷 | 進口高頻陶瓷 | ||
| 3 | 氣路控制 | 氣體流量控制器 | 浮子針閥流量控制器， 0-500ML |
| 氣路數量 | 2 路氣體通道，支持氧氣氬氣等 | ||
| 4 | 整機參數 | 整機功率 | 1000W |
| 外形尺寸 |
長*寬*高 ： 600mm(L)×450mm(W)
×450 mm(H)
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133-8039-4543