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三

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真空等離子體處理儀

真空等離子體處理儀NE-PE13FH

產品型號：NE-PE13FH
性能特點：低溫，干式，環保
產品用途：材料表面清洗，活化，改性，刻蝕

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產品介紹
產品參數

真空等離子體處理儀主要進行等離子體清洗、材料表面活化，表面微刻蝕及改進材料表面的附著力的功能，廣泛應用于半導體制造、微電子封裝和生命科學設備等方面。它由13.56MHz射頻電源發生器、電子控制系統、自動匹配系統和等離子體放電真空腔體四部分構成。外接真空泵系統，配置兩路工藝氣體通道，可通入不同氣體，例如氬氣、氧氣、氮氣、及氫氣等。

等離子體處理的原理是在真空狀態下給氣體施加電場，使氣體從氣態轉變為等離子體狀態(包括電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子),利用等離子體中的大量活性粒子轟擊材料表面，將能量傳遞給材料的表層分子，使材料發生熱蝕、交聯、降解和氧化反應并在表面產生大量自由基或引進某些極性基團，從而優化材料表面性能。

產品特點：

符合人體功能學的60度傾角操作界面，操作更方便；
供氣系統采用高精度MFC質量流量計來精確調節工作氣體的流量；
自動阻抗匹配，使得高頻發生器和負載阻抗能夠匹配以實現最大功率輸出；
其外觀美學設計，結構緊湊，操作簡單快捷用戶只需通過控制面板設置相關參數，即可啟動處理過程。此外，設備還具備完善的故障診斷和報警功能，便于用戶及時維護和保養；
具備精確的控制系統，能夠準確調節等離子體處理參數，如流量、功率、處理時間等。這種精確控制確保了處理效果的穩定性和一致性，滿足了不同材料和工藝的需求。

型號	NE-PE13FH
功率	0-300W可調
等離子發生器	13.56 MHz，自動阻抗匹配
腔體材質	316 不銹鋼
腔體容積	13.5L
腔體尺寸	240(L)280(D)200(H)mm
有效處理面積	210（L）×204（D）mm（8寸晶圓及以下）
處理層數	3層
氣體流量控制器	MFC質量流量計， 0-300ML
氣路數量	2路（可增加）
極限真空度	1PA
真空測定系統	皮拉尼真空硅管測量范圍：1.0×10⁵ ～1×10 ^-1 Pa
真空泵	干泵/油泵（可選）
控制系統	PLC+觸摸屏
電源供應	220V
外形尺寸	553mm(L)×553mm(W) ×732 mm(H)

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