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三

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15L石英腔體等離子清洗機NE-Q15

產品型號：NE-Q15
性能特點：高潔凈石英玻璃腔室，無電極污染
產品用途：晶圓，硅片清洗，去殘膠，活化

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產品介紹
產品參數

NE-Q15等離子清洗機主要由真空系統以及等離子體發生裝置組成。將產品放入石英玻璃腔體后，進行抽真空處理，待到達腔體內額定真空度后，打開等離子體發生裝置進行等離子體清洗處理一段時間即可?？捎糜诟黝惒牧希ㄋ芰?、金屬或玻璃等）表面活化處理加工，并為后續的黏合、噴漆或者印刷做準備，提高印刷前材料表面的附著力，使其后噴涂的涂料更有效的浸潤材料表面。等離子體對材料表面進行預處理可以顯著提高后續加工步驟的成功率以及加工質量。

產品特點：

•設備采用感應耦合等離子體（ICP）發生方式，具有無電極燒蝕污染、等離子體環境純凈，同時具有更高的功率密等特點，適用于潔凈度要求高的產品；
•等離子發生器采用13.56MHz射頻發生器，自動阻抗匹配調諧；
•觸摸屏用戶界面+PLC控制，可儲存多條工藝程序，全自動運行；
•配備兩路氣路通道，氣體流量可調，無需再搭配氣體混合儀；
•整體外觀處理工藝、機架門板烤漆、耐用、防刮；
•鋁合金自動門：氧化處理、噴砂、光潔高檔；
•電路設計電流過載保護，模塊式電路、維修方便快捷；
•手動、自動、真空保壓均可操作，不倒翁橡膠腳杯，自動平衡機器、減震。

產品用途：

清潔材料表面
等離子體可以破壞重有機分子中的有機化學鍵，并且產生容易揮發的分子，使表面的有機污染從材料表面揮發。其次，等離子體中的活性粒子可以氧化有機污染物并使其分解形成二氧化碳和水蒸氣，在材料表面不會留下任何殘留。

形成新的化學官能團并提高材料的潤濕性
等離子體處理會在清潔后的材料表面接枝上大量極性含氧基團，從而顯著增加材料表面的表面能以及潤濕性。賦予材料表面一定潤濕性能促進了它們在各個領域的應用。

使材料表面微觀上粗糙化（表面刻蝕）
等離子體處理材料表面時，高能量的離子或自由電子組成的物質對材料界面進行撞擊，產生刻蝕作用后，材料比表面積增大

型號	NE-Q15等離子清洗機
功率	0-500W連續可調
頻率	13.56 MHz 固態射頻電源
匹配器	數字全自動阻抗匹配
腔體材質	石英耐熱玻璃
腔體容積	15L
腔體直徑（圓形）	Φ250×300（D）mm
氣體流量	2路（氧氣、氧氣、氮氣、氫氣等）
極限真空度	1PA
控制系統	PLC+觸摸屏
電源供應	220V
重量	70KG
外形尺寸	755mm(L)×825mm(W) ×1550 mm(H)

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