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三

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真空等離子清洗機

200L真空等離子清洗機NE-PE200F

產品型號：NE-PE200F
性能特點：處理空間大，清洗效率高，等離子處理均勻
產品用途：對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料表面清洗活化改性

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產品介紹
產品參數

該設備為低溫負壓/真空等離子清洗機，其中比較核心的關鍵等離子清洗原理是基于由真空泵在腔體中抽出的真空低壓狀態下，利用射頻源激發形成的高壓交變電場將氧氣或氬氣等工藝氣體高速運動及震蕩成對應的等離子體，與物體材料表面的微顆粒污染物或者有機污染物進行物理碰撞或者發生化學反應，進而形成揮發性物質，最后再由真空泵將這些易揮發性的物質排出腔體外部，從而達到清潔及活化物體材料表面的目的。其最大特點是可實現整體和局部以及復雜結構的清洗，該射頻等離子清洗機操作簡單，單次可清洗數量比較大，又無廢液，污染源產生。

真空等離子清洗機產品特點：

♦射頻電源功率選擇為0到1000W可調，頻率選擇為13.56MHz，同時采用電源匹配系統來調節負載阻抗，以保證最佳的等離子密度和可重復性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負極連通，電極板由兩側的絕緣塊固定在真空腔體中，整個電極系統可跟據不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦平行平板型的電極結構，使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體，并且也能提供最大的樣品裝載能力，因此滿足均勻性和生產能力的要求。
♦供氣系統采用高精度流量計來精確調節工作氣體的流量，同時采用高穩定性的真空泵來實現廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩定性、高效的功率輸出、緊湊的結構設計、占地面積小、重量輕、完善的保護功能等特點。
♦前設開門，后方開排氣孔、電源線孔，側面開進氣孔，以便于形成動態循環、均勻進氣提高清洗的效果。
♦兩路獨立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強、低溫情況下的強度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。
♦用PLC控制，工藝過程全自動完成，具有良好的互鎖和報警功能。

真空等離子清洗機的最大特點是不分處理對象的基材類型,均可進行處理,對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。等離子體清洗還具有以下幾個特點:容易采用數控技術,自動化程度高;具有高精度的控制裝置,時間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層,表面質量得到保證;由于是在真空中進行,不污染環境,保證清洗表面不被二次污染。

項目	型號規格	參數
等離子體發生器	功率	0-1000W可調
	頻率	40KHz/13.56MHz
	抗輻射干擾高頻匹配器	自動抗阻匹配，遠程通信控制
真空反應腔室	腔體內部尺寸	600600600（寬高深）
	材質	不銹鋼/鋁合金
	電極層數	9層
	腔體容積	200L
	工作托盤	標配一套，材質可選（鋁絲，鋼絲網）
	電極板分布方式	平板電極，可靈活抽取
控制系統	系統控制	PLC
控制系統	觸摸屏	七寸觸摸屏
氣體系統	氣體通道	標配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮氣等）
氣體系統	氣體流量控制	MFC氣體質量流量計
外觀參數	外形尺寸	135017501200（寬高深）

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