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三

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真空等離子清洗機

80L真空等離子清洗機NE-PE80F

產品型號：NE-PE80F
性能特點：所有元器件及核心部件采用進口配置
產品用途：材料表面清洗活化刻蝕去膠

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產品介紹
產品參數

工業真空等離子清洗機由真空室、真空泵組、電源、供氣裝置及控制部分(包括真空控制、電源控制、溫度控制、氣體流量控制等)組成。等離子清洗機的清洗原理是射頻電源在一定的壓力情況下，起輝發射高能量的無序等離子體，這些等離子體中有大量激發態分子、自由基等多種活性粒子，他們撞擊到被清洗基體表面，破環了材料表面原有的化學鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，這樣不僅可以清除物品表面的污物和雜質，還可以提高表面活性。
等離子清洗機應用

等離子清洗機應用

工業真空等離子清洗機產品特點：

♦所有元器件及核心部件采用進口配置，保證了整機的穩定性和使用壽命。
♦真空泵采用進口旋片泵，是適用于等離子工藝環境使用的可長時間工作的體系，在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經驗，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵的維護成本，泵的各項保護措施完善，提高了長時間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內置于機柜內部，使機器緊湊，占地面積小。
♦控制方式:自動控制系統采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數、工藝過程實時監控，并顯示運行狀態、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間記錄，適合維護，可以提供工藝參考。
♦電源功率、潔凈壓力、射頻功率、清洗時間、氣體流量、凈化真空度等參數可設置。
♦可存儲100組工藝配方，隨意調用。工藝參數受密碼保護，分級密碼管理查詢。
♦電極采用高通量等離子結構，牢固可靠易拆卸。
♦反應倉為矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調。
♦真空泵采用雙腔式旋片泵，及限真空度可達2Pa以下，一般采用外置。
♦一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清洗結束提示等。
♦自動提醒系統堆護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。
♦氣體質量流量計用的是直聯式油旋片真空泵，由模擬量輸入輸出，量程為0-2000m可在量程范圍內無級調節、針閩等控制工藝氣體流量。
♦根據特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設備，油過濾器，過德返油裝置等。
♦電極結構(專利)的高等離子通量設計能很好地提高等離子體的均勻性及穩定性。

工業真空等離子清洗機常見應用：

1、將PDMS腔室和玻璃基底同時放入等離子清洗機中改性，結束后快速將兩者鍵合。
2、電路封裝過程中焊接產生的助焊劑等殘留物以及導電膠粘接膠液揮發積聚的薄膜有機物質嚴重影響鍵合界面的清潔，不加以處理而直接鍵合，將造成虛焊、脫焊等問題。等離子清洗是常用的清洗方式。
3、等離子體清洗Ti/Mo襯底表面，以去除襯底表面的自然氧化層。
4、利用等離子除膠可以達到常規清洗無法達到的效果,可應用在PCB制造過程中。
5、ITO表面進行等離子清洗可以除去表面有機雜質，更重要的是清洗后不僅可以優化ITO的功函數和導電率，還能夠增加其與修飾層界面接觸，從而有利于電荷的傳輸。

型號	真空等離子清洗機NE-PE80F
等離子體發生器頻率	13.56MHz
射頻電源功率	（0～600）W 可調
工作真空度	30～150Pa
反應倉工作溫度	30~60℃
氣體流量	(0～200)ml/min
控制方式	采用觸摸屏人機界面的PLC控制
腔體材質	不銹鋼/鋁合金
輸入電壓	380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 三相五線
氣體通道	標準兩路，可增加，可通入氧氣氬氣氮氣等
設備功率	≤4kW
外形尺寸	L1200×W1100×H1850（mm）
反應倉尺寸	W450mm×H400mm×D470mm

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