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三

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真空等離子清洗機

150L真空等離子清洗機NE-PE150F

產品型號：NE-PE150F
性能特點：有效處理空間大、清洗效率高
產品用途：材料表面活化、清洗、刻蝕和改性

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產品介紹
產品參數

NE-PE150L真空等離子清洗機包括反應室、射頻電源及匹配系統、真空系統、工藝氣路系統、壓力控制系統、電氣控制系統等。等離子清洗工藝是直接把高能等離子體流施加到被清洗表面以達到等離子體清洗的目的。選擇不同的氣體種類和配比，可以滿足很多等離子體清洗的要求。例如：用氧氣等離子體可以使有機物沉積被氧化掉；用惰性的氬氣等離子體可以使顆粒污染被機械地沖洗掉，用氫氣等離子體可以消除金屬表面氧化，等等。應用等離子體清洗金屬、陶瓷和塑料表面的有機物，大大增強了這些材料表面的附著力和鍵合力。

真空等離子清洗機應用

真空等離子清洗機產品特點：

♦射頻電源功率選擇為0到1000W可調，頻率選擇為13.56MHz，同時采用電源匹配系統來調節負載阻抗，以保證最佳的等離子密度和可重復性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負極連通，電極板由兩側的絕緣塊固定在真空腔體中，整個電極系統可跟據不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦平行平板型的電極結構，使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體，并且也能提供最大的樣品裝載能力，因此滿足均勻性和生產能力的要求。
♦供氣系統采用高精度流量計來精確調節工作氣體的流量，同時采用高穩定性的真空泵來實現廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩定性、高效的功率輸出、緊湊的結構設計、占地面積小、重量輕、完善的保護功能等特點。
♦前設開門，后方開排氣孔、電源線孔，側面開進氣孔，以便于形成動態循環、均勻進氣提高清洗的效果。
♦兩路獨立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強、低溫情況下的強度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。
♦用PLC控制，工藝過程全自動完成，具有良好的互鎖和報警功能。

真空等離子清洗機應用領域：

在電子領域，可用此技術做混合電路、PCB板、SMT、BGA、導線框和平板顯示器的清洗和刻蝕；
在醫療領域也要應用此種技術來改善各種導管、超細導管、過濾器、傳感器等醫療設置的光滑度、沾濕性等關鍵指標。
在大規模集成電路和分立器件行業中，等離子體清洗一般應用于以下幾個關鍵步驟中：
1、去膠，用氧的等離子體對硅片進行處理，去除光刻膠；
2、金屬化前器件襯底的等離子體清洗；
3、混合電路粘片前的等離子體清洗；
4、鍵合前的等離子體清洗；
5、金屬化陶瓷管封帽前的等離子體清洗

項目	型號規格	參數
等離子體發生器	功率	0-1000W可調
	頻率	40KHz/13.56MHz
	抗輻射干擾高頻匹配器	自動抗阻匹配，遠程通信控制
真空反應腔室	腔體內部尺寸	500500675（寬高深）
	材質	不銹鋼/鋁合金
	電極層數	7層
	腔體容積	150L
	工作托盤	標配一套，材質可選（鋁絲，鋼絲網）
	電極板分布方式	平板電極，可靈活抽取
控制系統	系統控制	PLC
控制系統	觸摸屏	七寸觸摸屏
氣體系統	氣體通道	標配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮氣等）
氣體系統	氣體流量控制	MFC氣體質量流量計
外觀參數	外形尺寸	115017501050（寬高深）

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