PDMS氧等離子清洗機處理鍵合工藝制作微流控芯片

在等離子體轟擊固化的PDMS表面可以使其表面親水性增強，經氧等離子體轟擊過的PDMS表面形成大量Si-OH基團。玻璃在氧等離子體轟擊后Si-O鍵被打斷，從而形成大量的Si懸掛鍵，吸收空氣中的-OH，形成了Si-OH基團。將氧等離子體轟擊過的PDMS與玻璃貼合后，各自表面形成的Si-OH基團會脫水形成Si-O-Si鍵，使得玻璃與PDMS形成永久鍵合。